Messtechnik im Bereich Wafer
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- 10.08.2011
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In unserer modernen Zeit sind wir auf Computerchips angewiesen. Kaum ein elektrisches Gerät funktioniert noch ohne diese komplexen Bauteile und der Bedarf steigt kontinuierlich.
Mit absoluter Genauigkeit müssen die Transistoren aufeinander abgestimmt werden. Durch die hohen Anforderungen ist nur die modernste Technologie in der Lage, diese Produkte zu erzeugen. In diesem Herstellungsprozess führt auch nur die kleinste Abweichung zum Ausfall der Funktionsfähigkeit des Bauteils.
Für die Produktion von Computerchips ist ein semiconductor wafer unabdingbar. In kleinen Abschnitten dieser Silikonscheiben müssen bis zu einer viertel Billion Einzelkomponenten untergebracht werden, die im Zusammenspiel absolut einwandfrei abgestimmt sein müssen. Um einen kontinuierliche Überwachung beim wafer processing zu gewährleisten, ist eine ausgefeilte Sensortechnologie von Nöten. Es empfiehlt sich hierbei den komplette Prozess in jedem einzelnen Schritt zu überwachen. Die anhaltende Qualitätssicherung lässt eine frühzeitige Problemerkennung zu. Durch die hohe Empfindlichkeit des Erzeugnisses muss die Kontrolle im wafer process mit hoch auflösenden Messsensoren und durch berührungsloses Messen erfolgen. Jeder mögliche Kontakt mit dem Erzeugnis stellt eine weitere Gefahrenquelle für die Funktionalität des Endproduktes dar.
Die optische Messtechnik bedient sich hierbei einer 3D Messung, um die Komponenten auf ihre exakte Lage und ihre exakte Höhe hin zu überprüfen. Durch mehrere visuelle Sensoren kann somit ein dreidimensionales Bild erzeugt und so überprüft werden. Diese berührungslose Messtechnik erlaubt eine Sensor Automotive und verbessert somit die Qualitätskontrolle. Eine verringert Reklamationsquote führt zu einer Kostensenkung, da Produktionsabweichungen rechtzeitig erkannt werden. Außerdem lässt die optische 3D Messtechnik Rückschlüsse auf mögliche prozessbezogene Fehlerquellen zu. Ein Optischer Sensor hilft somit diese Mängel vorzubeugen. Dies dient auch bei der angestrebten stetigen Prozessverbesserung und -entwicklung.
Der automobile Sensor arbeitet autark und kann einfach in den Prozess integriert werden. Mit einer Einbindung in die Steuerung der Herstellungsanlage wird eine direkte Sortierung fehlerhafter Komponenten möglich. Somit bietet diese Messtechnik eine kosteneffiziente Prozesssteuerung und erhöht das Qualitätsniveau fertiger Produkte.
